Резюме проекта

Разработана технология производства инновационной продукции - низкодефектных гетероподложек карбид кремния на кремниевой основе. Охват - рынок производства сверхярких светодиодов. Следующий этап – промышленное производство. В настоящее время мощные светодиоды получают на основе дорогостоящих подложек: сапфира и карбида кремния и существующие технологии производства малоэффективны что отражается на их стоимости.




Продукт проекта

Предлагаю в виде основания для светодиодов использовать недорогие подложки кремния и на них получать пленку дорогостоящего карбида кремния. Есть лабораторные образцы продукции. Подана заявка на изобретение №2012140590 приоритет от 21.09.2012 «Способ получения гетероэпитаксиальных пленок карбида кремния на кремниевой подложке», ЕСТЬ РЕШЕНИЕ О ВЫДАЧЕ ПАТЕНТА от 25.03.2014 г.По результатам предварительных исследований опубликована статья в журнале Письма в Журнал технической физики, 2014, том 40, выпуск 1.




Технология

Разработан новый способ, на базе ионно-плазменного магнетронного распыления. Технология позволяет получать светоизлучающую структуру на поверхности кремниевых пластин.
1.Разработанная технология безопасная, ресурсосберегающая и экологически чистая.
2. Применение недорогих и доступных подложек и легкость интеграции предлагаемого способа в развитую кремниевую технологию.



Новости: